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# EUV
EUV 용어 정의
EUV(극자외선, Extreme Ultraviolet)는 파장 10~121나노미터 범위의 전자기파입니다. 반도체 제조 공정에서 미세한 회로 패턴을 칩에 새기는 극자외선 노광 기술에 사용됩니다. 기존 자외선 기술보다 훨씬 짧은 파장을 이용하여 더욱 정밀한 미세 공정이 가능합니다. 현재 5나노미터 이하의 초미세 반도체 생산에 필수적인 핵심 기술로 평가받고 있습니다.1 Posts